Überblick
Der Ausgangspunkt der Silicium-Wertschöpfungskette
Polysilicium wird aus Siliciummetall über die Trichlorsilan- (TCS-) Route hergestellt: Siliciummetall reagiert mit Chlorwasserstoff zu Trichlorsilan, das anschließend gereinigt und als hochreines Polysilicium abgeschieden wird.
Da Verunreinigungen den Prozess durchlaufen, ist Siliciummetall mit geringen Verunreinigungen unerlässlich. Stabiler Fe-/Al-/Ca-Gehalt und gleichbleibende Versorgung beeinflussen direkt Qualität und Ausbeute des nachgelagerten Polysiliciums — die Qualitätswahl ist daher für Halbleiter- und Solaranwendungen entscheidend.
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